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实验名称:椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率(二)

实验名称:椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率(二) nbsp;168.58 O 157.54 O 11.42 O 67.54 O 11.56O 67.52 O 
 
 △=134.96 O   和 Ψ=11.56O
 将以上参数输入计算机得:
 折射率N1=2.34;
 SiO2样品(周期)厚度:D1=140.66Å ,D2=1617.89Å ,D3=3095.138Å 。 
 
 2.对Si的数据测量与公式计算:

参量 A1 P1 A2 P2 A2’ P2’   
Si 10.56 O 67.50 O 167.52O 170.00O 12.48O 80.00 O 11.52O 73.75O 
 
 △=132.4O   和 Ψ=11.52 O
 将以上数据代入公式:

 
 得:
 n1 = N –iNK =3.23-0.31i

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Tags:实验 名称 椭圆 测量 薄膜 厚度 折射 2010-04-09 12:14:20【返回顶部】
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